設(shè)備名稱:
硅單晶棒復(fù)檢儀
設(shè)備用途:
將YX-6Z型粘接儀粘好的晶棒，連同料板一同拿到Y(jié)X-6F復(fù)檢儀上進(jìn)行復(fù)檢， YX-6F可對(duì)粘接好的晶棒(含同一料板粘接2根晶棒)進(jìn)行X軸的復(fù)檢測量和Y軸上的復(fù)檢測量，測量后的結(jié)果與要求達(dá)到的精度進(jìn)行對(duì)照，測定結(jié)果可以自動(dòng)打印出來，打印內(nèi)容包含晶棒批號(hào)、測定時(shí)間、精度數(shù)據(jù)有θ角值。如有差異，可將晶棒從料板取下，重新粘接，大大保證了切割前晶棒的粘接精度，有效防止不良品發(fā)生，降低不良品率。
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